金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，长春长光智欧科技有限公司申请一项名为“一种晶圆检测无热化物镜及方法”的专利，公开号CN120028928A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆检测无热化物镜及方法，涉及半导体检测技术领域，物镜包括热容差镜组、变焦镜组、镜筒、散热器、径向柔性单元、轴向柔性单元、记忆金属环和楔形块，通过引入记忆金属环被动控制，实现了被动热控结构简单与主动控制的大行程调焦优势，通过热容差镜组中径向柔性单元和轴向柔性单元的设置，能够有效减少第一光学透镜的热变形，使物镜在较大温度范围内均能保证成像质量，通过散热器实现物镜对内部温度的向外传导，以及对外部温度隔绝的效果，降低温度变化对物镜焦距的影响，并实现高精度的成像质量，解决了现有的被动式无热化方案精度有限，主动式无热化方案系统复杂、成本高的问题。
天眼查资料显示，长春长光智欧科技有限公司，成立于2018年，位于长春市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，长春长光智欧科技有限公司参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息51条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自金融界
